山东大学学报(工学版) ›› 2010, Vol. 40 ›› Issue (4): 149-152.
陈庆东1,王俊平1,张宇翔2,卢景霄2
CHEN Qing-dong1, WANG Jun-ping1, ZHANG Yu-xiang2, LU Jing-xiao2
摘要:
为了分析微晶硅薄膜的本征特性,设计了激活能测试装置。测试装置包括测试平台、真空系统和加热控制系统。同时给出激活能计算方法,并对不同电压、不同取点个数对激活能测试的影响进行分析。分析结果表明,不同测试电压对激活能测试结果影响很小,不同取点个数计算的激活能差别也很小。
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Abstract 542
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